PI P-562.6CD PIMars六軸壓電平臺系統(tǒng)

：PI(Physik Instrumente)
公司簡介：
   德國PI公司是運(yùn)動和定位領(lǐng)域的解決方案供應(yīng)商。
   PI不僅開發(fā)和生產(chǎn)各種定位平臺和執(zhí)行器，用于線性，旋轉(zhuǎn)和垂直運(yùn)動或不同軸的組合。 PI因此將這些解決方案適應(yīng)客戶特定的應(yīng)用或提供用于運(yùn)動和定位的成品子系統(tǒng)。

Physik Instrumente P-562.6CD PIMars六軸壓電平臺系統(tǒng)

P-562.6CD PIMars六軸壓電平臺系統(tǒng)

§ 6個運(yùn)動軸：3個為線性，3個為旋轉(zhuǎn)

§ 行程達(dá)200微米（線性）和1毫弧度（偏 擺角）

§ 并聯(lián)運(yùn)動實(shí)現(xiàn)更快的響應(yīng)時間和更高的 多軸精度

§ 電容式傳感器帶來gao線性度

§ 零間隙，高精度柔性鉸鏈導(dǎo)向系統(tǒng)

§ 優(yōu)異的掃描平面度

§ 通孔尺寸66 毫米×66 毫米

§ PICMA壓電陶瓷促動器帶來超長使用壽 命

§ 超高真空兼容至10-9百帕

應(yīng)用領(lǐng)域

§ 掃描顯微鏡

§ 超分辨率顯微鏡

§ 生物技術(shù)

§ 掩模/晶圓定位

§ 樣本定位

§ 干涉測量

§ 計量

訂購信息

P-562.6CD

PIMars6軸納米定位系統(tǒng)，200微米，1毫弧度，平行計量 可按需提供其他行程。

PI P-562.6CD PIMars六軸壓電平臺系統(tǒng)