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    PIEZOCONCEPT三軸超高速納米定位器的規(guī)格

    發(fā)布時(shí)間: 2023-03-07  點(diǎn)擊次數(shù): 962次

    piezoconcept-PM3LR級(jí)的Z部分可以具有高達(dá)50μm的行程范圍,并提供市場(chǎng)上非常高的速度能力(高達(dá)12.5kHz諧振頻率)。專為原子力顯微鏡等要求苛刻的計(jì)量應(yīng)用而設(shè)計(jì)。包括控制器(USB 可選)。

    piezoconcept SPM3LR平臺(tái)是一個(gè)3軸納米定位器,沿X和Y提供100μm,200μm或300μm的行程范圍.SPM3LR平臺(tái)的Z部分可以具有高達(dá)50μm的行程范圍,并提供市場(chǎng)上非常高的速度能力,非常大諧振頻率為12.5kHz

    。SPM3LR.xxx.05 在 Z 軸上的階躍響應(yīng)時(shí)間可以小于一毫秒。

    因此,SPM3LR載物臺(tái)特別適用于原子力顯微鏡等要求苛刻的計(jì)量應(yīng)用。

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    XY規(guī)格

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    Z 規(guī)格

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    PIEZOCONCEPT三軸超高速納米定位器的規(guī)格




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